«В Израиле горько заплакал Чубайс» — «литографический Госплан» насытит страну собственными микрочипами

Фото: Антон Новодережкин/ТАСС

Россия быстро обеспечивает себе технологическую независимость в производстве микроэлектроники

С 21 по 27 сентября 2025 г. в университете «Сириус» (Федеральная территория «Сириус», Олимпийский проспект, дом 1) пройдет российский форум «Микроэлектроника 2025» — ключевое событие года в отечественном мире электронных технологий. Можно не сомневаться, наибольший интерес вызовет выступление специалистов ЗНТЦ (Зеленоградский нанотехнологический центр), который принимает участие в мероприятии уже в десятый раз.

По-прежнему актуальным остается вопрос собственного производства российских литографов для изготовления микрочипов, без которых не приходится говорить о национальном технологическом суверенитете. Думается, что на форуме эта тема будет бурно обсуждаться, впрочем, кое-что уже известно.

Ведущий разработчик литографического оборудования ЗНТЦ Виктор Абросимов буквально несколько дней назад сообщил, что готовят к производству российский 350-нм литограф. В 2028 году начнут поставки этих уже серийных машин, на которых можно будет обрабатывать от 100 до 140 пластин в час.

Их стоимость для наших предприятий составит около $ 6 млн (около 500 млн рублей по среднему курсу начала сентября 2025 года), что значительно дешевле, чем у конкурентов. Кстати, в мире только 4 компании изготавливают подобное оборудование. Это голландская компания ASML, японские Nikon и Canon, а также китайская SMEE.

В этом списке американцев нет, но они командуют первыми тремя производителями, наплевав на их экономические проблемы из-за сокращения рынка. Собственно, монополия Запада на литографы утрачена. Исключение составляет только EUV оборудование (экстремального ультрафиолета), выпускаемое ASML.

Но и эти технологии в состоянии освоить Китай — просто нужно время, поскольку мозги и деньги в Поднебесной имеются. Об этом, в частности, заявил Грегори К. Аллен, исследователь из Центра стратегических и международных исследований и бывший сотрудник Министерства обороны США, который специализируется на этой тематике.

В принципе янки уже опоздали с запретами. Некоторые западные эксперты предполагают, что якобы в рамках секретной сделки КНР уже поставила России несколько современных 28-нм иммерсионных литографических сканеров.

Сейчас идет, опять-таки согласно недружественному «хайли лайкли», в нашей стране подготовка к выпуску чипов с 6 млрд транзисторов, которые, по сути, могут закрыть все потребности нашей страны даже в коммерческой продукции. Во всяком случае, никто не мешает приобрести в Китае такое оборудование.

По ту сторону океана уверены, что Россия получила необходимую ей передышку и параллельно делает ставку на свою инженерную школу. Если кто-то скажет, что 350 нм — это каменный век, то отчасти он будет прав, но только отчасти.

Мало кто у нас знает, что ASML совершила свой первый прорыв в начале 1990-х, выпустив машину PAS 5500 (как раз под эту норму), разработанную молодым ученым Мартином ван ден Бринком. Далее компания шла эволюционным путем, то есть через модернизации прорывной технологии.

Сейчас голландцы подтянули «свой каменный век» до версии 1150C с длиной волны 193 нм, что обеспечивает экономичное массовое производство 90 нм чипов. Причем эти сканеры расходятся как горячие пирожки — по цене $ 15 млн за единицу.

Таким образом, в нашей стране уже преодолели технологическую пропасть, и теперь предстоит долгая дорога наверх. За 2 года нужно не просто построить фабрику, где будет собираться 350 нм литограф, но и создать огромную цепочку поставщиков уникальных подсистем этой машины.

Если посмотреть на снимки корпоративного кампуса ASML в Вельдховене, то можно насчитать всего несколько зданий, к тому же средненьких по размерам. По сути, это сборочное производство. Между тем самый крутой сканер EUV собирается из сотни тысяч компонентов от почти 800 поставщиков со всего мира. Да, машина PAS 5500 попроще, но ненамного, и для ее выпуска нужны многочисленные специализированные смежники.

Следовательно, и в РФ идет незаметная для публики, но очень масштабная работа по созданию аналогичной цепочки, работающей по единому плану. Конечно, многое останется закрытым по соображениям безопасности, но в процесс изготовления наверняка будут вовлечены сотни, если не тысячи отечественных и не только заводов и лабораторий.

Мы уже писали о разработке зеленоградского литографа 350 нм на базе белорусского сканера ЭМ-5784 и подчеркивали, что куда важнее в этом проекте получение россиянами бесценного опыта минских спецов, умноженного на новые знания. Причем речь не только о «железе», но и о его адаптации к отечественной «чистой химии». А это еще сотни высокотехнологичных смежников.

Тем самым в России создается своеобразный «литографический Госплан», без которого невозможно наладить выпуск отечественного сканера и благодаря которому страна получит мощный импульс развития. Как шутят на профессиональных форумах, «где-то в Израиле горько заплакал Чубайс».

Ну, а далее переход россиян от 350 нм до 130 нм, а потом и до 90 нм, как и у голландцев, является эволюционным, то есть технически решаемой задачей. За базу возьмут лазеры с длинами волн 193 и 248 нм, которые уже изготавливаются в России.

Никита Ростовский